Паўправаднік

РАШЭННЕ BSLtech Semiconductor

Для развіцця вашага вопыту ў паўправадніковай прамысловасці часта патрэбныя чыстыя памяшканні або ламінарныя шафы з высокім класам ISO (ISO 5 або вышэй). Вы маеце справу з працэсамі, адчувальнымі да ультрафіялетавага выпраменьвання? Нават у гэтым выпадку BSL прапануе патрэбныя чыстыя памяшканні. Чыстыя памяшканні маюць высакаякасную аздабленне сцен і абсталяваны асвятленнем з ультрафіялетавым фільтрам. Дзякуючы выкарыстанню антыстатычных (ESD) матэрыялаў і антыстатычных планак на фільтруючай сістэме статычны зарад у паветры нейтралізуецца.

Калі дэгазацыя непажаданая, BSL прапануе чыстыя памяшканні з негазавыдзяляльных матэрыялаў (ПУ). Гэтая тэхналогія ўзнікла ў аэракасмічнай прамысловасці.

Тыповыя працэсы ў паўправадніковай прамысловасці:

● Абарона падкладак і крэмніевых пласцін
● Даследаванні EUV
● Выраўноўвальнікі для масак
● Вакуумнае нанясенне, нанясенне тонкай плёнкі
● Прыкладанні для друку
● Оптыка

Працэсы фронтэнда і бэкэнда