Паўправаднік

BSLtech Semiconductor РАШЭННЕ

Развіццё вашага вопыту ў галіне паўправадніковай прамысловасці часта патрабуе чыстых памяшканняў або ламінарных шаф з высокім класам ISO (ISO 5 або вышэй). Вы маеце справу з працэсамі, адчувальнымі да ультрафіялету? Нават тады BSL пастаўляе патрэбныя чыстыя памяшканні. Чыстыя пакоі маюць высакаякасную аздабленне сцен і асвятленне з УФ-фільтрам. Дзякуючы выкарыстанню антыстатычных (ESD) матэрыялаў і антыстатычных планак на сістэме фільтраў нейтралізуецца статычны зарад у паветры.

Калі дэгазацыя непажаданая, BSL прапануе чыстыя памяшканні з матэрыялаў, якія не вылучаюць газаў (PU). Гэтая тэхналогія бярэ пачатак у аэракасмічнай прамысловасці.

Тыповыя працэсы ў паўправадніковай прамысловасці:

● Абарона падкладак і крамянёвых пласцін
● Даследаванне EUV
● Выраўноўвальнікі маскі
● Вакуумнае пакрыццё, нанясенне тонкай плёнкі
● Прыкладання для друку
● Оптыка

Пярэднія і бэкэнд працэсы