Схема другаснага зваротнага паветра для сістэмы кандыцыянавання паветра

Мікраэлектронны цэх з адносна невялікай плошчай чыстага памяшкання і абмежаваным радыусам зваротнага паветравода выкарыстоўваецца для прымянення схемы другаснага зваротнага паветра сістэмы кандыцыянавання паветра. Гэтая схема таксама часта выкарыстоўваецца ўчыстыя пакоіу іншых галінах, такіх як фармацэўтыка і медыцынскае абслугоўванне. Паколькі аб'ём вентыляцыі для задавальнення патрабаванняў вільготнасці тэмпературы ў чыстым памяшканні звычайна значна меншы, чым аб'ём вентыляцыі, неабходны для дасягнення ўзроўню чысціні, таму розніца тэмператур паміж прыточным і зваротным паветрам невялікая. Калі выкарыстоўваецца першасная схема зваротнага паветра, розніца тэмператур паміж кропкай стану прыточнага паветра і кропкай расы блока кандыцыянавання паветра вялікая, неабходны другасны нагрэў, што прыводзіць да кампенсацыі халоднага цяпла ў працэсе ачысткі паветра і большага спажывання энергіі . Калі выкарыстоўваецца другасная схема зваротнага паветра, другаснае зваротнае паветра можа выкарыстоўвацца для замены другаснага нагрэву першаснай схемы зваротнага паветра. Нягледзячы на ​​тое, што рэгуляванне суадносін першаснага і другаснага зваротнага паветра крыху менш адчувальная, чым рэгуляванне другаснага нагрэву, схема другаснага зваротнага паветра была шырока прызнана ў якасці меры эканоміі энергіі кандыцыянавання паветра ў невялікіх і сярэдніх мікраэлектронных чыстых майстэрнях .

Возьмем у якасці прыкладу чысты цэх мікраэлектронікі ISO класа 6, плошча чыстага цэха 1000 м2, вышыня столі 3 м. Параметрамі дызайну інтэр'еру з'яўляюцца тэмпература tn= (23±1) ℃, адносная вільготнасць φn=50%±5%; Разліковы аб'ём падачы паветра складае 171 000 м3 / г, час паветраабмену - каля 57 ч-1, а аб'ём прыточнага паветра - 25 500 м3 / г (з іх аб'ём адпрацаванага тэхналагічнага паветра - 21 000 м3 / г, астатняе - аб'ём уцечкі паветра пры станоўчым ціску). Адчувальная цеплавая нагрузка ў чыстым цэху складае 258 кВт (258 Вт/м2), суадносіны цяпло/вільготнасць кандыцыянера складае ε=35 000 кДж/кг, а розніца тэмператур зваротнага паветра ў памяшканні складае 4,5 ℃. У гэты час першасны зваротны аб'ём паветра
У цяперашні час гэта найбольш часта выкарыстоўваная форма ачысткі сістэмы кандыцыянавання паветра ў чыстых памяшканнях мікраэлектроннай прамысловасці, гэты тып сістэмы можна ў асноўным падзяліць на тры тыпу: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (сухі змеявік) +FFU. Кожны з іх мае свае перавагі і недахопы і прыдатныя месцы, энергазберагальны эфект у асноўным залежыць ад прадукцыйнасці фільтра і вентылятара і іншага абсталявання.

1) сістэма AHU+FFU.

Гэты тып рэжыму сістэмы выкарыстоўваецца ў мікраэлектроннай прамысловасці як "спосаб падзелу кандыцыянавання паветра і фазы ачысткі". Могуць быць дзве сітуацыі: першая заключаецца ў тым, што сістэма кандыцыянавання паветра працуе толькі са свежым паветрам, а апрацаванае свежае паветра нясе ўсю цеплавую і вільготнасную нагрузку чыстага памяшкання і дзейнічае як дадатковае паветра, каб збалансаваць адпрацаванае паветра і ўцечку станоўчага ціску. чыстага памяшкання гэтая сістэма таксама называецца сістэмай MAU+FFU; Іншая заключаецца ў тым, што толькі аб'ёму свежага паветра недастаткова, каб задаволіць патрэбы чыстага памяшкання ў халоднай і цеплавой нагрузцы, або таму, што свежае паветра апрацоўваецца ад вонкавага стану да кропкі расы, розніца ўдзельнай энтальпіі неабходнай машыны занадта вялікая , а частка паветра ў памяшканні (эквівалентная зваротнаму паветру) вяртаецца ў блок апрацоўкі кандыцыянера, змешваецца са свежым паветрам для апрацоўкі цяплом і вільготнасцю, а затым накіроўваецца ў камеру падачы паветра. У сумесі з астатнім зваротным паветрам у чыстым памяшканні (эквівалентам другаснага зваротнага паветра), ён паступае ў блок FFU, а затым адпраўляе яго ў чыстае памяшканне. З 1992 па 1994 год другі аўтар гэтага артыкула супрацоўнічаў з сінгапурскай кампаніяй і прывёў больш за 10 аспірантаў да ўдзелу ў распрацоўцы амерыкана-ганконгскага сумеснага прадпрыемства SAE Electronics Factory, якое прыняло апошні тып кандыцыянавання паветра і ачысткі паветра. сістэма вентыляцыі. Праект мае чыстае памяшканне класа 5 ISO плошчай каля 6000 м2 (1500 м2 з якіх заключана па кантракце Японскага атмасфернага агенцтва). Пакой для кандыцыянавання размяшчаецца паралельна баку чыстага памяшкання ўздоўж вонкавай сцяны і толькі прымыкае да калідора. Трубы прыточнага, адпрацаванага і зваротнага паветра кароткія і размешчаны плаўна.

2) Схема MAU+AHU+FFU.

Гэта рашэнне звычайна сустракаецца на прадпрыемствах мікраэлектронікі з рознымі патрабаваннямі да тэмпературы і вільготнасці і вялікімі розніцамі ў цеплавой і вільготнаснай нагрузцы, а ўзровень чысціні таксама высокі. Улетку свежае паветра астуджаецца і асушаецца да фіксаванай кропкі параметраў. Звычайна мэтазгодна апрацоўваць свежае паветра да кропкі перасячэння ізаметрычнай лініі энтальпіі і лініі адноснай вільготнасці 95% чыстага памяшкання з рэпрэзентатыўнай тэмпературай і вільготнасцю або чыстага памяшкання з найбольшым аб'ёмам свежага паветра. Аб'ём паветра MAU вызначаецца ў адпаведнасці з патрэбамі кожнага чыстага памяшкання для папаўнення паветра, і размяркоўваецца ў AHU кожнага чыстага памяшкання з дапамогай труб у адпаведнасці з неабходным аб'ёмам свежага паветра і змешваецца з некаторым колькасцю зваротнага паветра ў памяшканні для нагрэву і апрацоўка вільготнасцю. Гэта прылада нясе ўсю цеплавую і вільготнасную нагрузку і частку новай нагрузкі ад рэўматызму чыстага памяшкання, якое яно абслугоўвае. Паветра, апрацаванае кожнай вентыляцыйнай устаноўкай, накіроўваецца ў паток прыточнага паветра ў кожнае чыстае памяшканне, а пасля другаснага змешвання з зваротным паветрам у памяшканні яно накіроўваецца ў памяшканне блокам FFU.

Асноўная перавага рашэння MAU+AHU+FFU заключаецца ў тым, што ў дадатак да забеспячэння чысціні і станоўчага ціску, яно таксама забяспечвае розныя тэмпературы і адносную вільготнасць, неабходныя для вытворчасці кожнага працэсу чыстага памяшкання. Тым не менш, часта з-за колькасці ўстаноўленых вентыляцыйных установак, плошча памяшкання вялікая, свежае паветра ў чыстым памяшканні, зваротнае паветра, трубаправоды падачы паветра перакрыжоўваюцца, займаюць вялікую прастору, планіроўка больш клапотная, абслугоўванне і кіраванне больш складаныя і складаны, такім чынам, ніякіх асаблівых патрабаванняў, наколькі гэта магчыма, каб пазбегнуць выкарыстання.