Схема другаснага рэцыркуляцыйнага паветра для сістэмы кандыцыянавання паветра

У мікраэлектроннай майстэрні з адносна невялікай плошчай чыстага памяшкання і абмежаваным радыусам зваротнага паветравода выкарыстоўваецца схема другаснага зваротнага паветра ў сістэме кандыцыянавання паветра. Гэтая схема таксама шырока выкарыстоўваецца ўчыстыя пакоіу іншых галінах прамысловасці, такіх як фармацэўтычная і медыцынская. Паколькі аб'ём вентыляцыі для задавальнення патрабаванняў тэмпературы і вільготнасці ў чыстым памяшканні звычайна значна меншы за аб'ём вентыляцыі, неабходны для дасягнення ўзроўню чысціні, розніца тэмператур паміж прыточным і зваротным паветрам невялікая. Пры выкарыстанні схемы першаснага зваротнага паветра розніца тэмператур паміж кропкай стану прыточнага паветра і кропкай расы кандыцыянера вялікая, што прыводзіць да другаснага нагрэву, што прыводзіць да кампенсацыі халоднага цяпла ў працэсе апрацоўкі паветра і павелічэння спажывання энергіі. Пры выкарыстанні схемы другаснага зваротнага паветра другаснае зваротнае паветра можа быць выкарыстана для замены другаснага нагрэву схемы першаснага зваротнага паветра. Нягледзячы на ​​тое, што рэгуляванне суадносін першаснага і другаснага зваротнага паветра крыху менш адчувальнае, чым рэгуляванне другаснага цяпла, схема другаснага зваротнага паветра шырока прызнана мерай эканоміі энергіі пры кандыцыянаванні паветра ў малых і сярэдніх мікраэлектронных чыстых майстэрнях.

Возьмем у якасці прыкладу чысты цэх мікраэлектронікі класа ISO 6, плошчу чыстага цэха 1000 м2, вышыню столі 3 м. Параметры дызайну інтэр'еру: тэмпература tn = (23±1) ℃, адносная вільготнасць φn = 50%±5%; разліковы аб'ём падачы паветра складае 171 000 м3/г, час абмену паветра каля 57 гадзін-1, а аб'ём свежага паветра - 25 500 м3/г (з якіх аб'ём адпрацоўванага паветра складае 21 000 м3/г, а астатняе - аб'ём паветра, якое выцякае з станоўчым ціскам). Адчувальная цеплавая нагрузка ў чыстым цэху складае 258 кВт (258 Вт/м2), суадносіны цепла- і вільготнасці кандыцыянера складае ε = 35 000 кДж/кг, а розніца тэмператур зваротнага паветра ў памяшканні складае 4,5 ℃. У гэты час асноўны аб'ём зваротнага паветра...
У цяперашні час гэта найбольш распаўсюджаная форма сістэмы ачысткі кандыцыянавання паветра ў чыстых памяшканнях мікраэлектроннай прамысловасці. Гэты тып сістэмы можна ў асноўным падзяліць на тры тыпы: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (сухі змеевік) +FFU. Кожны з іх мае свае перавагі і недахопы і падыходзіць для выкарыстання. Эфект энергазберажэння ў асноўным залежыць ад прадукцыйнасці фільтра, вентылятара і іншага абсталявання.

1) Сістэма AHU+FFU.

Гэты тып сістэмнага рэжыму выкарыстоўваецца ў мікраэлектроннай прамысловасці як «спосаб падзелу фаз кандыцыянавання і ачысткі паветра». Магчымыя дзве сітуацыі: адна — сістэма кандыцыянавання паветра працуе толькі са свежым паветрам, а апрацаванае свежае паветра нясе ўсю цеплавую і вільготную нагрузку чыстага памяшкання і выступае ў якасці дадатковага паветра для балансавання адпрацаванага паветра і ўцечкі станоўчага ціску з чыстага памяшкання; такая сістэма таксама называецца сістэмай MAU+FFU; другая — аб'ёму свежага паветра недастаткова для задавальнення патрэб чыстага памяшкання ў халоднай і цеплавой нагрузцы, або свежае паветра апрацоўваецца з вонкавага стану да кропкі расы, калі розніца ўдзельнай энтальпіі неабходнай машыны занадта вялікая, і частка паветра ў памяшканні (эквівалент зваротнага паветра) вяртаецца ў блок апрацоўкі кандыцыянера, змешваецца са свежым паветрам для цеплавой і вільготнай апрацоўкі, а затым накіроўваецца ў камору падачы паветра. Змешанае з астатнім зваротным паветрам чыстага памяшкання (эквівалент другаснага зваротнага паветра), яно паступае ў блок FFU, а затым адпраўляецца ў чыстае памяшканне. З 1992 па 1994 год другі аўтар гэтай працы супрацоўнічаў з сінгапурскай кампаніяй і кіраваў больш чым 10 аспірантамі, якія ўдзельнічалі ў праектаванні сумеснага амерыкана-ганконгскага прадпрыемства SAE Electronics Factory, у якім была ўкаранёна сістэма ачысткі паветра і вентыляцыі. Праект прадугледжвае чыстае памяшканне класа ISO 5 плошчай прыблізна 6000 м2 (1500 м2 з якіх былі замоўлены Японскім атмасферным агенцтвам). Памяшканне для кандыцыянавання паветра размешчана паралельна баку чыстага памяшкання ўздоўж вонкавай сцяны і толькі прылягае да калідора. Трубы для падачы свежага, адпрацоўванага і зваротнага паветра кароткія і размешчаны плаўна.

2) Схема MAU+AHU+FFU.

Гэтае рашэнне звычайна сустракаецца на заводах мікраэлектронікі з рознымі патрабаваннямі да тэмпературы і вільготнасці і вялікімі розніцамі ў цеплавой і вільготнай нагрузцы, а таксама высокім узроўнем чысціні. Улетку свежае паветра астуджаецца і асушваецца да фіксаванага параметра. Звычайна мэтазгодна апрацоўваць свежае паветра да кропкі перасячэння ізаметрычнай лініі энтальпіі і лініі адноснай вільготнасці 95% чыстага памяшкання з рэпрэзентатыўнай тэмпературай і вільготнасцю або чыстага памяшкання з найбольшым аб'ёмам свежага паветра. Аб'ём паветра ў ацяпляльнай устаноўцы (МАУ) вызначаецца ў залежнасці ад патрэб кожнага чыстага памяшкання ў папаўненні паветра і размяркоўваецца па ацяпляльнай устаноўцы (АУУ) кожнага чыстага памяшкання па трубах у залежнасці ад неабходнага аб'ёму свежага паветра і змешваецца з невялікай колькасцю зваротнага паветра з памяшкання для апрацоўкі цяплом і вільгаццю. Гэтая ўстаноўка нясе ўсю цеплавую і вільготную нагрузку і частку новай рэўматычнай нагрузкі чыстага памяшкання, якое яна абслугоўвае. Паветра, апрацаванае кожнай АУУ, накіроўваецца ў пленум прыточнага паветра ў кожным чыстым памяшканні, і пасля другаснага змешвання з зваротным паветрам з памяшкання яно накіроўваецца ў памяшканне з дапамогай агрэгата FFU.

Асноўная перавага рашэння MAU+AHU+FFU заключаецца ў тым, што, акрамя забеспячэння чысціні і станоўчага ціску, яно таксама забяспечвае розныя тэмпературы і адносную вільготнасць, неабходныя для выканання кожнага працэсу ў чыстым памяшканні. Аднак часта з-за вялікай колькасці ўстаноўленых AHU яны займаюць вялікую плошчу памяшкання, свежае паветра, зваротнае паветра і трубаправоды падачы паветра ў чыстым памяшканні перасякаюцца, займаючы вялікую прастору, што ўскладняе планіроўку, абслугоўванне і кіраванне больш складанымі, таму няма асаблівых патрабаванняў, каб пазбегнуць выкарыстання.