Мэтавае значэнне адноснай вільготнасці ў чыстым памяшканні з паўправаднікамі (FAB).

Мэтавае значэнне адноснай вільготнасці ў чыстым памяшканні з паўправаднікамі (FAB) складае прыблізна ад 30 да 50%, што дапускае невялікую хібнасць ±1%, напрыклад, у зоне літаграфіі - або нават менш пры апрацоўцы далёкім ультрафіялетам (DUV). зона – у той час як у іншых месцах яна можа быць аслаблена да ±5%.
Таму што адносная вільготнасць мае шэраг фактараў, якія могуць знізіць агульную прадукцыйнасць чыстых памяшканняў, у тым ліку:
1. Размнажэнне бактэрый;
2. Камфортны дыяпазон тэмпературы ў памяшканні для персаналу;
3. З'яўляецца электрастатычны зарад;
4. Карозія металу;
5. Кандэнсацыя вадзяной пары;
6. Дэградацыя літаграфіі;
7. Водапаглынанне.

Бактэрыі і іншыя біялагічныя забруджвальнікі (цвіль, вірусы, грыбкі, кляшчы) могуць развівацца ў асяроддзі з адноснай вільготнасцю больш за 60%. Некаторыя бактэрыяльныя супольнасці могуць расці пры адноснай вільготнасці больш за 30%. Кампанія лічыць, што вільготнасць павінна кантралявацца ў дыяпазоне ад 40% да 60%, што можа звесці да мінімуму ўздзеянне бактэрый і рэспіраторных інфекцый.

Адносная вільготнасць у дыяпазоне ад 40% да 60% таксама з'яўляецца ўмераным дыяпазонам для камфорту чалавека. Занадта высокая вільготнасць можа выклікаць пачуццё духаты, у той час як вільготнасць ніжэй за 30% можа выклікаць у людзей пачуццё сухасці, патрэсканай скуры, дыхальны дыскамфорт і эмацыйнае няшчасце.

Высокая вільготнасць сапраўды памяншае назапашванне электрастатычнага зарада на паверхні чыстага памяшкання - жаданы вынік. Нізкая вільготнасць ідэальна падыходзіць для назапашвання зарада і патэнцыйна шкоднай крыніцы электрастатычнага разраду. Калі адносная вільготнасць паветра перавышае 50%, электрастатычныя зарады пачынаюць хутка рассейвацца, але калі адносная вільготнасць менш за 30%, яны могуць працяглы час захоўвацца на ізалятары або незаземленной паверхні.

Адносная вільготнасць паміж 35% і 40% можа быць выкарыстана ў якасці здавальняючага кампрамісу, і паўправадніковыя чыстыя пакоі звычайна выкарыстоўваюць дадатковыя элементы кіравання, каб абмежаваць назапашванне электрастатычнага зарада.

Хуткасць многіх хімічных рэакцый, у тым ліку каразійных працэсаў, будзе павялічвацца з павышэннем адноснай вільготнасці паветра. Усе паверхні, якія падвяргаюцца ўздзеянню паветра вакол чыстага памяшкання, хутка працуюць.