Мэтавае значэнне адноснай вільготнасці ў чыстым памяшканні для паўправаднікоў (FAB)

Мэтавае значэнне адноснай вільготнасці ў чыстым памяшканні для паўправаднікоў (FAB) складае прыблізна ад 30 да 50%, што дазваляе вузкую пахібку ±1%, напрыклад, у зоне літаграфіі, ці нават менш у зоне апрацоўкі далёкага ультрафіялетавага выпраменьвання (DUV), у той час як у іншых месцах яно можа быць зніжана да ±5%.
Паколькі адносная вільготнасць мае шэраг фактараў, якія могуць знізіць агульную прадукцыйнасць чыстых памяшканняў, у тым ліку:
1. Рост бактэрый;
2. Дыяпазон камфортнай тэмпературы ў памяшканні для персаналу;
3. З'яўляецца электрастатычны зарад;
4. Карозія металу;
5. Кандэнсацыя вадзяной пары;
6. Дэградацыя літаграфіі;
7. Паглынанне вады.

Бактэрыі і іншыя біялагічныя забруджвальнікі (цвіль, вірусы, грыбкі, кляшчы) могуць квітнець у асяроддзі з адноснай вільготнасцю больш за 60%. Некаторыя бактэрыяльныя супольнасці могуць расці пры адноснай вільготнасці больш за 30%. Кампанія лічыць, што вільготнасць павінна кантралявацца ў дыяпазоне ад 40% да 60%, што можа мінімізаваць уздзеянне бактэрый і рэспіраторных інфекцый.

Адносная вільготнасць у дыяпазоне ад 40% да 60% таксама з'яўляецца ўмераным дыяпазонам для камфорту чалавека. Занадта высокая вільготнасць можа выклікаць у людзей адчуванне духоты, а вільготнасць ніжэй за 30% можа выклікаць сухасць, патрэсканую скуру, дыскамфорт пры дыханні і эмацыйную незадаволенасць.

Высокая вільготнасць насамрэч памяншае назапашванне электрастатычных зарадаў на паверхні чыстага памяшкання — жаданы вынік. Нізкая вільготнасць ідэальна падыходзіць для назапашвання зарада і з'яўляецца патэнцыйна небяспечнай крыніцай электрастатычнага разраду. Калі адносная вільготнасць перавышае 50%, электрастатычныя зарады пачынаюць хутка рассейвацца, але калі адносная вільготнасць меншая за 30%, яны могуць доўга захоўвацца на ізалятары або незаземленай паверхні.

Адносная вільготнасць ад 35% да 40% можа быць выкарыстана ў якасці здавальняючага кампрамісу, і ў чыстых памяшканнях для паўправаднікоў звычайна выкарыстоўваюцца дадатковыя сродкі кантролю для абмежавання назапашвання электрастатычных зарадаў.

Хуткасць многіх хімічных рэакцый, у тым ліку працэсаў карозіі, павялічваецца з павелічэннем адноснай вільготнасці. Усе паверхні, якія падвяргаюцца ўздзеянню паветра вакол чыстага памяшкання, хутка праходзяць.